其对环境波动、材料批次、甚至操作员手法的敏感度,都达到了变态的程度。
“深根固本”线提供的特种光刻胶和抛光液,性能勉强达标,
但批次稳定性依然堪忧。
“夸父”项目提供的深紫外(DUV)光源测试数据,为算法优化提供了关键输入,
但自研光刻机距离实用还遥遥无期。
这是一场在刀尖上跳舞、用算力和毅力强行填补硬件鸿沟的豪赌。
赌注是整个团队的信心、祁同伟的政治前途,乃至“汉芯”项目的生死。
进度条,终于走到了100%。
“工艺完成。晶圆开始下线,进入最终清洗和检测流程。”工艺工程师的声音干涩地响起。
所有人的心都提了起来。真正的审判,现在才开始。
晶圆将被送入自动缺陷检测设备,进行全盘扫描。然后,是取样进行电学特性测试。
时间一分一秒过去,每一秒都像一个世纪般漫长。
控制室内的空气仿佛变成了粘稠的胶体,让人呼吸困难。
一小时后,初步的缺陷扫描图传回。
大屏幕上,代表缺陷的红点……比预想的要少!
虽然仍有分布,但似乎没有形成灾难性的集群。
“取样,进行第一轮功能测试。”
祁同伟的声音平静,但手指已微微蜷起。
又过了令人煎熬的四十分钟。
负责测试的工程师猛地抬起头,脸上混合着难以置信和狂喜,声音因为激动而变调:
“报…报告!A1、A2、A3三个取样点,基本存储单元功能测试……全部通过!读写功能正常!”
“嗡——”控制室里响起一片压抑的低呼。
但这还不够。
“继续,全面测试。速度、功耗、静态噪声容限……”
罗斯塔姆用拳头抵着下巴,眼睛死死盯着屏幕上开始刷新的测试数据流。
更多的数据涌来。